Przedstawiono system WOPT umożliwiający symulację złożonych, dielektrycznych powłok cienkowarstwowych. Oprogramowanie służy zarówno do projektowania specjalistycznych wielowarstwowych powłok optycznych jak i do kontroli parametrów gotowych produktów cienkowarstwowych. Za pomocą programu można wykonać analizę grubości oraz optycznych parametrów materiałowych powłok dielektrycznych na postawie wykonanych pomiarów spektralnych. Wykonano badania efektywności algorytmu dla rzeczywistych pomiarów spektrometrycznych. Potwierdzono możliwość wyznaczania grubości struktur umieszczonych w próżni, w cieczach oraz osadzonych na podłożach o różnej grubości. Wykonano badania wpływu parametrów algorytmu na szybkość i dokładność obliczeń widm optycznych, grubości oraz optycznych parametrów warstw.
Authors
Additional information
- Category
- Publikacja w czasopiśmie
- Type
- artykuły w czasopismach recenzowanych i innych wydawnictwach ciągłych
- Language
- polski
- Publication year
- 2007
