W pracy zaprezentowano wykonanie czujnika z niedomieszkowanego tlenku ceru o nanometrowych ziarnach krystalicznych. Zastosowana metoda nanoszenia warstw zalicza się do metod niskotemperaturowych. Wytworzone warstwy przebadano za pomocą dyfrakcji rentgenowskiej, mikroskopii elektronowej oraz spektroskopii impedancyjnej. Wykonane czujniki charakteryzują się szybkim czasem odpowiedzi i stabilnym zachowaniem przy zmianach ciśnienia parcjalnego tlenu.
Authors
Additional information
- Category
- Publikacja w czasopiśmie
- Type
- artykuły w czasopismach recenzowanych i innych wydawnictwach ciągłych
- Language
- angielski
- Publication year
- 2008