W pracy przedstawiono rezultaty badań struktury oraz właściwości elektrycznych warstw NbN-TiN (o różnym stosunku molowym NbN/TiN)otrzymanych w wyniku termicznego azotowania warstw tlenkowych otrzymanych metodą zol-żel. Badania struktury przeprowadzono metodami AFM, XRD oraz XPS. Wynika z nich, iż głównymi fazami w wartstwach są NbN i TiN o rozmiarach ziaren około 100 nm. Jednakże zaobserwowano również istnienie niewielkiej ilości wiązań tlenowych. Przewodnictwo elektryczne warstw, mierzone w zakresie 5-280K, można wyjaśnić w oparciu o model proponowany zwykle dla układów o małym nieuporządkowaniu. Jedynie próbka o stosunku molowym NbN/TiN jak 80/20 wykazała przejście nadprzewodzące.
Authors
Additional information
- Category
- Publikacja w czasopiśmie
- Type
- artykuł w czasopiśmie wyróżnionym w JCR
- Language
- angielski
- Publication year
- 2009
