W artykule przedstawiono wybrane realizacje interferometrycznych czujników przesunięcia, wykonanych z elementów optyki objętościowej. Czujniki te, stosowane w technice pomiarowej i mikroskopii, charakteryzują się dużą rozdzielczością i dokładnością pomiaru. Omówiono problemy związane z implementacją tych czujników, wpływające na pogorszenie dokładności pomiaru. Zaprezentowano metody korekcji sygnału wyjściowego, opracowane dla zastosowań w metrologii, umożliwiające poprawę dokładności pomiaru. Zaprezentowano czujniki, w których metody te mogą zostać zastosowane.
Authors
Additional information
- DOI
- Digital Object Identifier link open in new tab 10.1117/12.610796
- Category
- Publikacja w czasopiśmie
- Type
- artykuły w czasopismach recenzowanych i innych wydawnictwach ciągłych
- Language
- angielski
- Publication year
- 2005
