W artykule przedstawiono wyniki modelowania metodą Elementów Skończonych wybranych konstrukcji membran do zastosowań w interferometrycznych czujnikach ciśnienia. Omówiono zależność prametrów membran od kształtu membrany, jej wymiarów i zastosowanego materiału. Zakres odkształcen badanych membran jest niezbyt duży, co może pogarszać dokładność pomiaru czujników ciśnienia, w których będą one stosowane Omówiono kierunki dalszych prac.
Autorzy
Informacje dodatkowe
- DOI
- Cyfrowy identyfikator dokumentu elektronicznego link otwiera się w nowej karcie 10.1117/12.721019
- Kategoria
- Publikacja w czasopiśmie
- Typ
- artykuły w czasopismach recenzowanych i innych wydawnictwach ciągłych
- Język
- angielski
- Rok wydania
- 2006
