Repozytorium publikacji - Politechnika Gdańska

W artykule przedstawiono konstrucję systemu optoelektronicznego do monitoringu ramanowskiego in-situ procesu μPA ECR CVD (ang.: Microwave Plasma Assisted Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapour Deposition), stosowanego do osadzania cienkich warstw diamentowych i diamentopodobnych DLC. System ma budowę modułową i wyposażony jest w dedykowane sondy optyczne. Przedstawiono wyniki pomiarów testowych, potwierdzjące, że system posiada odpowiednią czułość do badania struktury molekularnej syntetyzowanych materiałów.

Autorzy

• dr hab. inż. Marcin Gnyba link otwiera się w nowej karcie ,
• Marcin Kozanecki,
• dr hab. inż. Bogdan Kosmowski link otwiera się w nowej karcie ,
• dr inż. Piotr Wroczyński link otwiera się w nowej karcie ,
• dr hab. inż. Robert Bogdanowicz link otwiera się w nowej karcie