Repozytorium publikacji - Politechnika Gdańska

Przedstawiono zagadnienia monitorowania in-situ prózniowego procesu wzrostu cienkich warstw węglowych, a w szczególności diamentowych i diamentopodobnych DLC. Zastosowanie pomiarów ramanowskich umożliwia zbadanie struktury warstwy na poziomie molekularnych (zawartości faz węglowych sp2 i sp3, a także defektów wodorowych). Użycie spektroskopii in-situ podczas procesu syntezy pozwala monotorować poprawność przebiegu procesu i opracować wytyczne do jego optymalizacji. W artykule przedstawiono konfiguracje układów optycznych, problemy doboru długości fali lasera oraz rezultaty prac eksperymentalnych.

Autorzy

• dr hab. inż. Marcin Gnyba link otwiera się w nowej karcie ,
• Marcin Kozanecki,
• dr inż. Piotr Wroczyński link otwiera się w nowej karcie ,
• dr hab. inż. Robert Bogdanowicz link otwiera się w nowej karcie