W niniejszym artykule przedstawiono wyniki pomiarów spektroskopowych wyładowania mikrofalowego w argonie pod ciśnieniem atmosferycznym. Badania przeprowadzono dla wyładowania mikrofalowego podtrzymywanego mikrofalami o częstotliwości 915 MHz w mikrofalowym aplikatorze plazmy typu rezonator wnękowy. Na podstawie uzyskanych wyników określono temperaturę wzbudzenia elektronowego, temperaturę cząstek ciężkich plazmy oraz koncentracje elektronów.
Autorzy
Informacje dodatkowe
- Kategoria
- Publikacja w czasopiśmie
- Typ
- artykuły w czasopismach recenzowanych i innych wydawnictwach ciągłych
- Język
- polski
- Rok wydania
- 2012
