In this paper, the application of a microsphere-based fiber-optic sensor with a 200 nm zinc oxide (ZnO) coating, deposited by the Atomic Layer Deposition (ALD) method, for temperature measurements between 100 and 300°C, is presented. The main advantage of integrating a fiber-optic microsphere with a sensing device is the possibility of monitoring the integrity of the sensor head in real-time, which allows for higher accuracy during measurements. The study has demonstrated that ZnO ALD-coated microsphere-based sensors can be successfully used for temperature measurements. The sensitivity of the tested device was found to be 103.5 nW/°C when the sensor was coupled with a light source of 1300 nm central wavelength. The measured coefficient R^2 of the sensor head was over 0.99, indicating a good fit of the theoretical linear model to the measured experimental data.
Autorzy
- dr inż. Paulina Listewnik link otwiera się w nowej karcie ,
- Mikhael Bechelany,
- Jacek B. Jasinski,
- prof. dr hab. inż. Małgorzata Szczerska link otwiera się w nowej karcie
Informacje dodatkowe
- DOI
- Cyfrowy identyfikator dokumentu elektronicznego link otwiera się w nowej karcie 10.3390/s20174689
- Kategoria
- Publikacja w czasopiśmie
- Typ
- artykuły w czasopismach
- Język
- angielski
- Rok wydania
- 2020
Źródło danych: MOSTWiedzy.pl - publikacja "ZnO ALD-Coated Microsphere-Based Sensors for Temperature Measurements" link otwiera się w nowej karcie