This study has focused on the microcrystalline diamond film (MCD) thickness evaluation. For this purpose, optical coherence tomography (OCT) enhanced by spectroscopic analysis has been used as a method of choice. The average thickness of the tested layer was about 1.5 µm, which is below the standard 2-point OCT resolution. In this case, the usefulness of the spectroscopic analysis was confirmed for the evaluation of the thickness changes in the submicrometer range.
Autorzy
Informacje dodatkowe
- DOI
- Cyfrowy identyfikator dokumentu elektronicznego link otwiera się w nowej karcie 10.4302/plp.v14i3.1156
- Kategoria
- Publikacja w czasopiśmie
- Typ
- artykuły w czasopismach
- Język
- angielski
- Rok wydania
- 2022
