Wykorzystano technikę elipsometrii monochromatycznej do opisu on-line warstw tlenkowych, elektroosadzanych na miedzi. Elipsometria jest w stanie dostarczyć informacji odnośnie grubości i współczynników załamania światła układów warstwowych, jednakże wymagane w tym celu jest zbudowanie matematycznego modelu odwzorowującego stałe optyczne układu badanego. W powyższej pracy przedyskutowane zostały różne metody dopasowywania modelu do warunków eksperymentalnych, a także możliwości wykorzystania przybliżenia EMA do opisu modelu na granicy dwóch faz. Odpowiednie dopasowanie modelu umożliwiła optymalizacja Levenberga-Marquardta, połączona z wielowymiarową funkcją średniokwadratową MSE.
Authors
Additional information
- Category
- Publikacja w czasopiśmie
- Type
- artykuł w czasopiśmie z listy filadelfijskiej
- Language
- angielski
- Publication year
- 2007
