Repozytorium publikacji - Politechnika Gdańska

Wykorzystano technikę elipsometrii monochromatycznej do opisu on-line warstw tlenkowych, elektroosadzanych na miedzi. Elipsometria jest w stanie dostarczyć informacji odnośnie grubości i współczynników załamania światła układów warstwowych, jednakże wymagane w tym celu jest zbudowanie matematycznego modelu odwzorowującego stałe optyczne układu badanego. W powyższej pracy przedyskutowane zostały różne metody dopasowywania modelu do warunków eksperymentalnych, a także możliwości wykorzystania przybliżenia EMA do opisu modelu na granicy dwóch faz. Odpowiednie dopasowanie modelu umożliwiła optymalizacja Levenberga-Marquardta, połączona z wielowymiarową funkcją średniokwadratową MSE.

Autorzy

• dr hab. inż. Robert Bogdanowicz link otwiera się w nowej karcie ,
• dr hab. inż. Jacek Ryl link otwiera się w nowej karcie