Spektroskopia szumowa w zakresie małych częstotliwości jest używana do badania oddziaływania warstwy rezystywnej i przewodzącej w wytwarzanych rezystorach grubowarstwowych. Wprowadzono dwa parametry szumowe do określania stopnia tego oddziaływania. Opisano wyniki przeprowadzonych badań oddziaływania warstw z dwutlenku rutenu, rutenku bizmutu z kontaktami ze złota, platyna-złoto, pallad-srebro, od różnych producentów.
Authors
- Krzysztof Mleczko,
- Zbigniew Zawiślak,
- Adam Witold Stadtler,
- Andrzej Kolek,
- Andrzej [obcy] Dziedzic,
- dr inż. Jacek Andrzej Cichosz link open in new tab
Additional information
- DOI
- Digital Object Identifier link open in new tab 10.1016/j.microrel.2008.03.012
- Category
- Publikacja w czasopiśmie
- Type
- artykuł w czasopiśmie z listy filadelfijskiej
- Language
- angielski
- Publication year
- 2008
