Spektroskopia szumowa w zakresie małych częstotliwości jest używana do badania oddziaływania warstwy rezystywnej i przewodzącej w wytwarzanych rezystorach grubowarstwowych. Wprowadzono dwa parametry szumowe do określania stopnia tego oddziaływania. Opisano wyniki przeprowadzonych badań oddziaływania warstw z dwutlenku rutenu, rutenku bizmutu z kontaktami ze złota, platyna-złoto, pallad-srebro, od różnych producentów.
Autorzy
- Krzysztof Mleczko,
- Zbigniew Zawiślak,
- Adam Witold Stadtler,
- Andrzej Kolek,
- Andrzej [obcy] Dziedzic,
- dr inż. Jacek Andrzej Cichosz link otwiera się w nowej karcie
Informacje dodatkowe
- DOI
- Cyfrowy identyfikator dokumentu elektronicznego link otwiera się w nowej karcie 10.1016/j.microrel.2008.03.012
- Kategoria
- Publikacja w czasopiśmie
- Typ
- artykuł w czasopiśmie z listy filadelfijskiej
- Język
- angielski
- Rok wydania
- 2008
