Praca zawiera opis wybranych metod pomiarów elektrycznych cienkich warstw tlenkowych wytwarzanych metodą rozpylania magnetronowego. Omówiono metody pomiaru i stanowiska pomiarowe używane do mierzenia parametrów elektrycznych warstw tlenkowych. Zaprezentowano przykładowe wyniki pomiarów cienkich warstw opartych na tlenku tytanu.
Authors
- dr inż. Marcin Stanisław Łapiński link open in new tab ,
- Jarosław Domaradzki,
- Danuta Kaczmarek,
- Eugeniusz Prociów,
- Karolina Sieradzka,
- dr inż. Michał Mazur link open in new tab
Additional information
- Category
- Aktywność konferencyjna
- Type
- publikacja w wydawnictwie zbiorowym recenzowanym (także w materiałach konferencyjnych)
- Language
- polski
- Publication year
- 2010
