Praca zawiera opis wybranych metod pomiarów elektrycznych cienkich warstw tlenkowych wytwarzanych metodą rozpylania magnetronowego. Omówiono metody pomiaru i stanowiska pomiarowe używane do mierzenia parametrów elektrycznych warstw tlenkowych. Zaprezentowano przykładowe wyniki pomiarów cienkich warstw opartych na tlenku tytanu.
Autorzy
- dr inż. Marcin Stanisław Łapiński link otwiera się w nowej karcie ,
- Jarosław Domaradzki,
- Danuta Kaczmarek,
- Eugeniusz Prociów,
- Karolina Sieradzka,
- dr inż. Michał Mazur link otwiera się w nowej karcie
Informacje dodatkowe
- Kategoria
- Aktywność konferencyjna
- Typ
- publikacja w wydawnictwie zbiorowym recenzowanym (także w materiałach konferencyjnych)
- Język
- polski
- Rok wydania
- 2010
