Publications Repository - Gdańsk University of Technology

Page settings

polski
Publications Repository
Gdańsk University of Technology

Treść strony

Zakłócenia w pomiarach ostrzowych struktur półprzewodnikowych

W artykule opisano podstawowe źródła zakłóceń występujących w pomiarach struktur elementów metodami ostrzowymi oraz podstawowe sposoby zmniejszania ich wpływu na wyniki pomiarów.

Authors

Additional information

Category
Publikacja w czasopiśmie
Type
artykuły w czasopismach recenzowanych i innych wydawnictwach ciągłych
Language
polski
Publication year
2003

Source: MOSTWiedzy.pl - publication "Zakłócenia w pomiarach ostrzowych struktur półprzewodnikowych" link open in new tab

Portal MOST Wiedzy link open in new tab