W artykule opisano podstawowe źródła zakłóceń występujących w pomiarach struktur elementów metodami ostrzowymi oraz podstawowe sposoby zmniejszania ich wpływu na wyniki pomiarów.
Autorzy
Informacje dodatkowe
- Kategoria
- Publikacja w czasopiśmie
- Typ
- artykuły w czasopismach recenzowanych i innych wydawnictwach ciągłych
- Język
- polski
- Rok wydania
- 2003
Źródło danych: MOSTWiedzy.pl - publikacja "Zakłócenia w pomiarach ostrzowych struktur półprzewodnikowych" link otwiera się w nowej karcie
