Publications Repository - Gdańsk University of Technology

Page settings

polski
Publications Repository
Gdańsk University of Technology

Treść strony

Techniques of interference reduction in probe system for wafer level noise measurements of submicron semiconductor devices.

Przedstawiono skrótowo system do ostrzowych pomiarów szumów struktur submikronowych. Znaczny wpływ na pomiary ostrzowe mają zakłócenia i szumy własne systemu, zwłaszcza zakłócenia o wysokim poziomie wpraowadzane przez ostrza (fluktuacje rezystancji styków ostrza do struktury powodowane przez wibracje i udary mechaniczne w środowisku pomiarowym)i środowisko elektromagnetyczne. Zakłócenia okresowe powodowane przez wibracje i pola elektromagnetyczne mogą być separowane od mierzonych szumów. Przebiegi są rejestrowane jako sekwencje rekordów czasowych o czasach trwania będących wielokrotnością okresu sygnału zakłócającego i są sumowane koherentnie a następnie odejmowane od zarejestrowanych danych. Umożliwia to analizę składowych losowych i okresowych sygnału oddzielnie.

Authors

Additional information

Category
Publikacja w czasopiśmie
Type
artykuły w czasopismach recenzowanych i innych wydawnictwach ciągłych
Language
angielski
Publication year
2004

Source: MOSTWiedzy.pl - publication "Techniques of interference reduction in probe system for wafer level noise measurements of submicron semiconductor devices." link open in new tab

Portal MOST Wiedzy link open in new tab