Repozytorium publikacji - Politechnika Gdańska

Ustawienia strony

english
Repozytorium publikacji
Politechniki Gdańskiej

Treść strony

Techniques of interference reduction in probe system for wafer level noise measurements of submicron semiconductor devices.

Przedstawiono skrótowo system do ostrzowych pomiarów szumów struktur submikronowych. Znaczny wpływ na pomiary ostrzowe mają zakłócenia i szumy własne systemu, zwłaszcza zakłócenia o wysokim poziomie wpraowadzane przez ostrza (fluktuacje rezystancji styków ostrza do struktury powodowane przez wibracje i udary mechaniczne w środowisku pomiarowym)i środowisko elektromagnetyczne. Zakłócenia okresowe powodowane przez wibracje i pola elektromagnetyczne mogą być separowane od mierzonych szumów. Przebiegi są rejestrowane jako sekwencje rekordów czasowych o czasach trwania będących wielokrotnością okresu sygnału zakłócającego i są sumowane koherentnie a następnie odejmowane od zarejestrowanych danych. Umożliwia to analizę składowych losowych i okresowych sygnału oddzielnie.

Autorzy

Informacje dodatkowe

Kategoria
Publikacja w czasopiśmie
Typ
artykuły w czasopismach recenzowanych i innych wydawnictwach ciągłych
Język
angielski
Rok wydania
2004

Źródło danych: MOSTWiedzy.pl - publikacja "Techniques of interference reduction in probe system for wafer level noise measurements of submicron semiconductor devices." link otwiera się w nowej karcie

Portal MOST Wiedzy link otwiera się w nowej karcie