Opisano proces produkcji grubych warstw PLZT oraz pomiary ich dielektrycznych i piezoelektrycznych parametrów. Temperatura obróbki termicznej (850 stopni C) czyni te warstwy kompatybilnymi z technologią LTCC.
Authors
- Jari Juuti,
- dr hab. inż. Andrzej Łoziński link open in new tab ,
- Seppo Leppavuori
Additional information
- Category
- Publikacja w czasopiśmie
- Type
- artykuł w czasopiśmie z listy filadelfijskiej
- Language
- angielski
- Publication year
- 2004
