Opisano proces produkcji grubych warstw PLZT oraz pomiary ich dielektrycznych i piezoelektrycznych parametrów. Temperatura obróbki termicznej (850 stopni C) czyni te warstwy kompatybilnymi z technologią LTCC.
Autorzy
- Jari Juuti,
- dr hab. inż. Andrzej Łoziński link otwiera się w nowej karcie ,
- Seppo Leppavuori
Informacje dodatkowe
- Kategoria
- Publikacja w czasopiśmie
- Typ
- artykuł w czasopiśmie z listy filadelfijskiej
- Język
- angielski
- Rok wydania
- 2004
Źródło danych: MOSTWiedzy.pl - publikacja "LTCC compatible PLZT thick-films for piezoelectric devices." link otwiera się w nowej karcie
