W pracy przedstawiono opis technologii przygotowania czujników wilgotności na bazie nanoporowatego Al2O3. Celem badań było określenie związku pomiędzy parametrami procesu technologicznego a parametrami warstwy porowatej i właściwościami elektrycznymi czujnika. Strukturę powierzchni czujnika określono z wykorzystaniem elektronowej mikroskopii skaningowej. Spektroskopia impedancyjna została wykorzystana do określenia parametrów elektrycznych.
Authors
Additional information
- Category
- Aktywność konferencyjna
- Type
- publikacja w wydawnictwie zbiorowym recenzowanym (także w materiałach konferencyjnych)
- Publication year
- 2006
