W pracy przedstawiono opis technologii przygotowania czujników wilgotności na bazie nanoporowatego Al2O3. Celem badań było określenie związku pomiędzy parametrami procesu technologicznego a parametrami warstwy porowatej i właściwościami elektrycznymi czujnika. Strukturę powierzchni czujnika określono z wykorzystaniem elektronowej mikroskopii skaningowej. Spektroskopia impedancyjna została wykorzystana do określenia parametrów elektrycznych.
Autorzy
- prof. dr hab. inż. Piotr Jasiński link otwiera się w nowej karcie ,
- dr inż. Grzegorz Jasiński link otwiera się w nowej karcie ,
- Adam Madany link otwiera się w nowej karcie ,
- dr hab. inż. Bogdan Chachulski link otwiera się w nowej karcie ,
- prof. dr hab. inż. Antoni Zbigniew Nowakowski link otwiera się w nowej karcie
Informacje dodatkowe
- Kategoria
- Aktywność konferencyjna
- Typ
- publikacja w wydawnictwie zbiorowym recenzowanym (także w materiałach konferencyjnych)
- Rok wydania
- 2006
