Repozytorium publikacji - Politechnika Gdańska

Ustawienia strony

english
Repozytorium publikacji
Politechniki Gdańskiej

Treść strony

A prototype femtosecond laser system for MEMS fabrication

n this article, the concept of a prototype femtosecond laser micromachining system and a femtosecond solid-state Yb:KYW laser is presented. Ultrashort laser pulses have many advantages over the long pulses in laser micromachining, due to their unique ability to interact with different materials without transferring heat to them. This allows very precise and pure laser-processing, clean cuts and sharp edges. A femtosecond laser micromachining device presented in this article is equipped with high-precision galvo scanner, quality optical elements and automatic process supporting tools, resulting in the maximum use of the femtosecond laser potential for precise micromachining and MEMS fabrication.

Autorzy

Informacje dodatkowe

DOI
Cyfrowy identyfikator dokumentu elektronicznego link otwiera się w nowej karcie 10.1117/12.2030552
Kategoria
Aktywność konferencyjna
Typ
publikacja w wydawnictwie zbiorowym recenzowanym (także w materiałach konferencyjnych)
Język
angielski
Rok wydania
2013

Źródło danych: MOSTWiedzy.pl - publikacja "A prototype femtosecond laser system for MEMS fabrication" link otwiera się w nowej karcie

Portal MOST Wiedzy link otwiera się w nowej karcie